| 品牌 | YAMATO/日本雅馬拓 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子,電氣 |
廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導體相關部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機物去除、界面活性處理、表面污染物去除。
雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機
儀器特點：
硅晶圓的灰化及蝕刻。
基板表面污垢處理。
IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
半導體相關部品的電子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有機物去除。
界面活性處理。
表面污染物去除。
型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | Max1000W | Max1000&1500W | |
有效電極尺寸 | W280xD280mm | W300xD300mm | W400xD375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極（獨立） | 平板（多目的） |
反應氣體 | 聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝） | ||
真空泵（標配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000&1500L/min |
安全裝置 | 門檢測開關、連鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 | ||
雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供。雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機
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